A
|
Absolute pressure / Absoluutdruk
Druk in verhouding tot het absolute vacuum.
Actual flow / Actuele doorstroming
Doorstroming aangegeven in eenheid van hoeveelheid per tijdseenheid. Dit
in tegenstelling tot percentuele doorstroming.
|
B
|
Back pressure control
Regeling van de druk aan de uitgangszijde van de drukregelaar.
Bypass
Bij een indirecte thermische mass flow meter/controller wordt het gas in
een constante verhouding verdeeld over een hoofdkanaal en het sensorkanaal.
Door een perfecte 'flowsplit' geeft de sensor over het gehele bereik een
juiste meetwaarde aan van de totale doorstroming door het instrument.
|
C
|
CVD
Chemical vapor deposition. Chemisch proces waarbij een gasflow
zorgt voor de afzetting van een dunne laag op een substraat (onderlaag).
CEM
Controlled Evaporator Mixer. Bronkhorst dampdoseer-systeem, bestaande
uit een vloeistofmeter met regelventiel, een draaggas-regelaar en een mengkamer
met temperatuurregeling.
Coriolis principe
Meetprincipe waarbij direct massadebiet gemeten kan worden, gebaseerd
op het Coriolis effect. Hierbij wordt een buis waarin zich het medium (gas/vloeistof)
bevindt in trilling gebracht. De Corioliskracht van het bewegende medium
zorgt er voor dat de trilling in het ingaande deel achter zal blijven op
die van het uitgaande deel. Het tijdsverschil tussen de trillingen is rechtevenredig
met de massadoorstroming.
|
D
|
Differential pressure (ΔP)
Drukverschil tussen twee locaties in een systeem, bijvoorbeeld
tussen de ingang en uitgang van een meetinstrument of regelventiel, of
de verschildruk tussen twee leidingen of vaten. |
E
|
EPT
Electronic Pressure Transducer ofwel Electronische Drukmeter.
EPC
Electronic Pressure Controller ofwel Electronische Drukregelaar.
|
F
|
Forward pressure control
Regeling van de druk aan de voorzijde van de drukregelaar. |
G
|
Gauge pressure
Overdruk ten opzichte van de atmosferische druk (luchtdruk aan
buitenzijde van het instrument). |
H
|
I
|
IP40
Beschermingsklasse. Aanrakingsveilig, beschermd tegen vaste voorwerpen
groter dan 1 mm, maar geen bescherming tegen vocht.
IP65
Beschermingsklasse. Stofdicht, beschermd tegen waterstralen (spuitwaterdicht).
|
J
|
K
|
L
|
Laminar Flow Element
Stromingsweerstand in het hoofdkanaal van een thermische flow
meter/regelaar die door het creeren van een drukverschil zorgt voor een
proportionele deelstroom door het sensorkanaal, parallel aan het hoodkanaal. |
M
|
Manifold
Basisblok voor gas- of vloeistofdoorvoer waarop functionele elementen
(zoals meters, ventielen, mengkamers, filters) kunnen worden gemonteerd
of waarin deze (deels) zijn geintegreerd.
Massa
hoeveelheid materie uitgedrukt in (kilo)gram.Mass
Flow Controller ofwel massadoorstroomregelaar of massadebietregelaar. Combinatie
van doorstroommeter met regelventiel waarmee de massastroom van een gas
of vloeistof kan worden geregeld.
MFC
MFM
Mass Flow Meter ofwel massadoorstroommeter of massadebietmeter. Doorstroommeter
of debietmeter waarmee de massa-doorstroming van een gas of vloeistof kan
worden gemeten.
|
N
|
Nauwkeurigheid
Percentuele afwijking van de exacte waarde, aangegeven in %FS (Full Scale,
dwz ten opzichte van de eindwaarde of volle schaal) en/of in %Rd (Reading
of Measured Value, dwz ten opzichte van de gemeten waarde). |
O
|
P
|
Percentual flow / Percentuele doorstroming
Doorstroming aangegeven in procenten van het maxuimum bereik. Dit in tegenstelling
tot actuele doorstroming. |
Q
|
R
|
Rangeability / Turndown
Het percentuele bereik (bijv. 2...100%) of de verhouding maximale:minimale
meetwaarde (50:1) waarbinnen de gespecificeerde nauwkeurigheid wordt gehaald.
Repeatability / herhaalbaarheid
Het bereik waarbinnen zich de meetwaarde zal bevinden bij herhaalde meting
onder dezelfde condities.
|
S
|
Surface Mount / Top-mount
Montage van een instrument vanaf de bovenzijde op een basisplaat
(bijv een manifold), zodat de leiding bij inspectie of uitwisseling niet
hoeft te worden onderbroken. |
T
|
Thermisch principe
Meetprincipe waarbij doorstromend gas/vloeistof wordt opgewarmd
door een verwarmingselement (heater) zodat een tempertuurverschil (ΔT)
ontstaat tussen 2 temperatuursensoren. Deze ΔT is evenredig met de massadoorstroming.
Bij dit principe is de warmteoverdracht afhankelijk van de dichtheid en
specifieke warmte van het medium, zodat het instrument voor dit gas of
deze vloeistof gecalibreerd moet worden. De invloed van druk- of temperatuurwijzigingen
is gering vergeleken bij volumetrische meting, maar kan voor nauwkeurige
meting niet worden verwaarloosd. Conversiefactoren of extra calibratiecurves
kunnen hierbij een oplossing bieden.
Top-mount / Surface Mount
Montage van een instrument vanaf de bovenzijde op een basisplaat (bijv
een manifold), zodat de leiding bij inspectie of uitwisseling niet hoeft
te worden onderbroken.
|
U
|
V
|
W
|
X
|
Y
|
Z
|
Zero drift
Drift van het nulpunt. Langzame en meestal niet-periodieke verandering
van het nulpunt van een meetinstrument. |
