Theorie en voordelen van 'CEM' gecontroleerde verdamping

De vloeistof (bijv. water voor bevochtiging of precursor voor coatingsprocessen) wordt bij kamertemperatuur onttrokken aan een voorraadvat dat met een inert gas op druk wordt gehouden, of met gebruik van een membraan, en de doorstroming wordt gemeten met een vloeistof-massaflowmeter. De benodigde hoeveelheid vloeistof wordt geregeld conform de ingestelde waarde (setpoint) door een regelventiel dat deel uitmaakt van de gepatenteerde mengklep voor vloeistof en draaggas. Het zo gevormde mengsel van gas en vloeistof wordt vervolgens in de temperatuurgeregelde mengkamer volledig in damp omgezet. Dit verklaart de afkorting CEM, nl. Control - Evaporation - Mixing, de 3 basisfuncties van het dampdoseersysteem van Bronkhorst High-Tech.
Een compleet systeem omvat tevens een uitlees-/bedieningseenheid met voeding voor alle componenten van het CEM-system.