Theorie
Thermische mass flow meetprincipe
Thermische Mass Flow Meters en Controllers maken gebruik van de warmtegeleidbaarheid van gassen of vloeistoffen.
Coriolis mass flow meetprincipe
Een Mass Flow Meter die werkt met het "Coriolis-principe" bevat een trillende buis waarin een vloeistofstroom een verandering in de frequentie, faseverschuiving of amplitude veroorzaakt evenredig met de massa stroom.
Pressure meting
De piëzoresistieve druksensor van Bronkhorst High-Tech bestaat uit een silicium chip met 4 drukgevoelige weerstanden die samen een brug van Wheatstone vormen.
Mass flow controller (MFC) theorie
Bij mass-flow control wordt het uitgangssignaal continu vergeleken met een setpoint signaal van een spanningsbron. Bij eventuele afwijkingen tussen het setpointsignaal en het gemeten signaal wordt het regelventiel aangepast totdat de twee signalen identiek zijn.
Theorie en voordelen van 'CEM' dampregeling
Het verdampingsysteem bestaat uit een vloeistofstroom controller, een MFC voor het draaggas, een temperatuur gecontroleerde verdamping menginrichting (CEM) en een voeding / uitlezing / control unit.
Volume Flow versus Mass Flow
Het meetbereik van thermische massflowmeters en -regelaars van Bronkhorst High-Tech wordt in eenheden zoals ln/min, sccm of m³n/h aangegeven. Dit wekt de indruk, dat het hierbij gaat om volumetrische eenheden, terwijl het in werkelijkheid massflow-eenheden zijn. Wat gaat er schuil achter dit verschil?
